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[미국 공장의 EUV 노광장비 (로이터=연합뉴스 자료사진)]

중국에서 액침 심자외선(DUV) 노광장비 제조를 시작해 주목받은 업체는 중국 국영기업 '상하이 아이성나(愛晟納) 전자기술그룹'이라고 로이터 통신이 소식통을 인용해 현지시간 28일 보도했습니다. 

잘 알려지지 않은 이 기업이 지난해 DUV 시제품 데스트를 시작한 노광장비 스타트업 유량성(Yuliangsheng)과 '상하이 마이크로 일렉트로닉스 장비'(SMEE)의팀들을 흡수해 DUV 생산을 주도하고 있다고 소식통이 전했습니다. 

유량성은 화웨이의 지원을 받는 장비 제조업체 사이캐리어의 계열사입니다. 

이 소식통은 아이성나의 액침 DUV 노광장비는 추가 테스트가 필요할 것으로 예상되며, 네덜란드 ASML에 비해 아직 많이 뒤처진 상태라고 말했습니다. 

2023년 8월 설립된 아이성나의 등록 서류상 주주는 국유기업 두 곳뿐입니다. '상하이 일렉트릭 홀딩스'와 '상하이 인터내셔널 트러스트'의 자회사입니다. 

앞서 미국 IT매체 디인포메이션은 상하이에 있는 한 국가 지원 기업이 액침 DUV 노광장비 제조를 시작했으며 올해 5대, 내년 20대 생산을 목표로 하고 있다고 보도했습니다. 

중국 매체 신랑재경은 올해 생산되는 장비가 중신궈지(SMIC)·화훙반도체·창신메모리(CXMT) 등 중국 반도체 제조사에 인도될 예정이라고 보도했습니다.