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[중국 반도체업체 CXMT 로고 (로이터=연합뉴스)]

중국이 이머전 DUV 노광장비 생산한다는 소식은 세계 반도체 시장에도 큰 충격을 주고 있습니다. 물론 중국이 ASML의 기술력을 따라잡았다는 의미는 아닙니다. 

미국의 첨단 장비 수출 규제가 장기화되는 상황에서 중국이 자체 노광장비를 연구개발(R&D) 단계를 넘어 실제 생산 단계까지 끌어올린 것은 '충격'입니다. 

첫 공급 대상이 SMIC와 화훙반도체, CXMT 등 중국 핵심 반도체 기업이라는 점도 중국 정부가 구축하려는 ‘자급형 반도체 생태계’의 윤곽이 점차 드러나고 있음을 보여줍니다. 

27일 미국 정보매체 디인포메이션에 따르면 상하이의 한 정부 지원 반도체 장비 업체는 자체 개발한 이머전 DUV 노광장비 생산을 시작했습니다. 

디인포메이션에 따르면 이번 장비 역시 핵심 부품 일부는 일본산을 사용하는 것으로 알려졌습니다. 또 중국 협력업체들의 부품 공급이 지연되면서 올해 생산도 당초 계획보다 늦어진 것으로 전해졌습니다. 

업계에서는 노광장비를 제작하는 것과 실제 반도체 생산라인에서 안정적인 수율을 확보하는 것은 전혀 다른 문제라고 지적합니다. 신규 노광장비는 생산라인에 투입되기까지 수개월 이상의 검증과 공정 최적화 과정을 거쳐야 하며, 처리 속도(Throughput), 오버레이 정밀도, 장기 신뢰성 등에서 모두 높은 기준을 충족해야 합니다. 

실제로 파이낸셜타임스(FT)는 지난해 SMIC가 위량성의 이머전 DUV 장비를 시험 가동하고 있다고 보도하면서도, 실제 상업 생산에 활용되기까지는 최소 1년 이상의 검증 과정이 필요할 것으로 전망한 바 있습니다. 

시장도 즉각 반응했습니다. 로이터통신에 따르면 ASML은 이날 장중 7% 이상, 한때 8% 넘게 하락하며 지난 6월 이후 가장 큰 낙폭을 기록했습니다. ASM인터내셔널과 BE세미컨덕터인더스트리스(BESI), 프랑스의 소이테크(Soitec), 독일의 인피니언테크놀로지스 등 반도체 장비·소재 업체들도 동반 약세를 보였습니다.