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중국이 반도체 제조에 쓰이는 침지식 심자외선(DUV) 노광장비를 생산하기 시작했다는 보도에 그간 관련 시장을 지배하던 ASML의 주가가 급랍했습니다. 특히 중국 창신메모리가 본토 증시에 상장과 동시에 단숨에 시가총액 1위에 오른 소식과 맞물려 중국의 기술굴기 시계가 한층 더 빨라진 것 아니냐는 분석이 나옵니다.



현지시간 27일 미 온라인매체 디인포메이션에 따르면 중국은 올해 DUV 노광장비 생산에 돌입했습니다.

올해 5대, 내년에는 약 20대의 DUV 노광장비를 생산할 예정으로 전해지는데, 중국이 만드는 이 노광장비는 ASML이 제작하는 극자외선(EUV) 노광장비의 직전 세대로 평가됩니다.

최첨단 EUV 장비보다는 기술 수준이 낮지만 반도체 생산의 ‘워크호스(주력 장비)’로 불릴 만큼 핵심 설비로 꼽힙니다. 특히 이머전 DUV는 렌즈와 웨이퍼 사이에 초순수를 채워 빛의 굴절률을 높이는 방식으로, 기존 DUV보다 더 미세한 회로를 구현할 수 있습니다. EUV만큼의 성능은 아니지만 다중 노광(Multiple Patterning) 기술과 결합하면 첨단 반도체 생산에도 활용할 수 있어 중국이 국산화를 추진해온 핵심 장비로 꼽힙니다.

미국의 수출 규제로 중국이 ASML 장비를 사기 어려운 상황에서, 자국 생산 DUV가 자리를 잡으면 ASML의 중국 매출에는 장기적인 부담이 될 수 있습니다. 아울러 반도체 굴기에 열을 올리고 있는 중국의 기술 로드맵이 한층 더 빨라질 수있다는 전망도 나옵니다. 



디 인포메이션은 "이번 성과는 장기적으로 중국 시장에서 ASML에 도전할 수 있는 계기가 될 수 있지만, 해당 시스템은 성능과 신뢰성 측면에서 아직 뒤처져 있으며, 대량 생산에 앞서 추가적인 테스트가 필요하다"고 평가했습니다.

그러면서 "중국은 국산 EUV 장비도 개발하고 있지만 아직 시제품 단계에 머물러 있다"고 설명했습니다.