SBS Biz

SK하이닉스가 차세대 D램 생산라인에 인피니티시마의 '메트론3D 300mm' 시스템을 도입해, 서브나노미터급 정밀 3D 공정 제어를 본격 적용했습니다.

인피니티시마(Infinitesima)는 오늘(9일)SK하이닉스 양산 라인에 '메트론(Metron) 3D' 300mm 인라인(in-line) 웨이퍼 계측 시스템을 공급했다고 밝혔습니다.

이번 SK하이닉스의 양산 라인 적용은 여러 공정 단계에 대한 시스템 특성화 작업을 포함한 광범위한 평가를 거친 후 이루어졌습니다.

SK하이닉스의 최영현 DMI(결함 분석, 계측 및 검사 기술) 담당 선임(Head of DMI)은 “나노미터 수준에서의 3차원 공정 제어는 첨단 DRAM 공정에서 고수율을 보장하는 데 있어서 점점 더 중요해지고 있다"며 "인피니티시마의 메트론3D는 HVM(high-volume manufacturing, 대량생산) 구현에 필요한 비용 효율성을 갖춘 우수한 서브 나노미터 3D 계측 성능을 입증했다”고 말했습니다.

인피니티시마의 피터 젠킨스(Perter Jenkins) 회장 겸 CEO는 "SK하이닉스와 협력하게 되어 매우 기쁘다. SK하이닉스의 지원과 지도 덕분에 우리 메트론3D 시스템이 신속히 품질 평가를 마치고 HVM에 채택될 수 있었다"고 밝혔습니다.