SBS Biz

[앵커]

SK머티리얼즈가 일본 수출규제 품목 가운데 하나였던 초고순도 불화수소의 국산화에 성공했습니다.

앞서 전량 수입에 의존했었는데, 우리 산업계의 자립 노력이 본격적인 성과를 내기 시작했다는 평가가 나옵니다.

오수영 기자가 보도합니다.

[기자]

SK머티리얼즈가 이번 달부터 99.999% 초고순도 불화수소 가스 양산을 시작했습니다.

반도체 공정이 미세화되면서 수요가 급증한 소재로 반도체 공정 가운데 세정에 사용됩니다.

그동안 해외 의존도가 100%에 달했습니다.

[박지훈 / SK머티리얼즈 팀장 : 불화수소가 들어가는 상품들을 저희가 20년 이상 생산해왔거든요. 축적된 기술을 통해서 고부가 상품을 생산해보고자 2019년 초반 고순도 불화수소 시장 진입 연구·기획을 시작했고요. 일본 수출규제가 있어 더 가속화됐습니다.]

지난해 말 시제품을 개발한 SK머티리얼즈는 경북 영주에 15톤 규모 생산 시설을 지었습니다.

오는 2023년까지 국산화율을 70%까지 끌어올릴 계획입니다.

[구상모 / 광운대 전자재료공학과 교수 : 불화수소가 걱정이 제일 많았죠. 순도가 이번에 five nine(99.999%) 이상이 돼 그 전보다는 확실히 큰 계기가 될 것 같아요. 하드 마스크랑 관련이 있는 SOC 소재를 앞으로 대기업에서 해주면 훨씬 나은 상황은 맞겠죠.]

일본의 수출규제 3개 품목 중 하나인 하드 마스크와 불화아르곤 포토레지스트 개발에도 나섰습니다.

불화수소처럼 해외 의존도가 높은 소재들입니다.

SK머티리얼즈는 400억원을 들여 내년 생산시설을 다 지은 뒤 오는 2022년부터 연 5만 갤런의 포토레지스트를 생산할 계획입니다.

다른 수출규제 품목인 플루오린 폴리이미드 역시 코오롱인더스트리 등에서 국산화가 진행 중입니다.

일본산 소재와 부품 의존도를 줄이려는 우리 산업계의 노력이 속도를 내고 있습니다.

SBSCNBC 오수영입니다.